玻璃通孔(TGV)技术
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高真空磁控溅射镀膜设备(圆形平面靶,柜式一体机)HITSemi-PVD-460SC
高真空磁控溅射镀膜设备主要是用圆形磁控溅射靶进行溅射的方法,制备金属、合金、化合物、半导体、陶瓷、介质复合膜及其它化学反应膜等;适用于镀制各种单层膜、多层膜、掺杂膜及合金膜;可镀制磁性材料和非磁性材料。 也可用于TGV/TSV/TMV 先进封装的研发,高深径比(≥10:1)的深孔金属种子层镀膜。
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高真空磁控溅射镀膜设备(矩形靶)HITSemi-PVD-650SR
高真空磁控溅射镀膜设备主要是用矩形磁控溅射靶进行溅射的方法,制备金属、合金、化合物、半导体、陶瓷、介质复合膜及其它化学反应膜等;适用于镀制各种单层膜、多层膜、掺杂膜及合金膜;可镀制磁性材料和非磁性材料。
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随着半导体行业的飞速发展,尤其在芯片互联工艺领域,贯穿玻璃通孔(TGV)技术日益成为核心增长动力。预计在不久的将来,该技术将在全球及中国市场迎来前所未有的增长机遇。据最新市场研究数据显示,中国已经成为全球最大的TGV技术应用市场。
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