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鹏城半导体玻璃基板TGV技术助力先进封装

鹏城半导体玻璃基板TGV技术助力先进封装

在先进封装领域中，无论是2.5D封装中的interposer 还是3D封装中都要用到TSV，但是最近很多人都听说玻璃通孔(Through Glass Via,TGV)这个词。玻璃通孔（TGV）潜能巨大，未来可能将是先进封装技术中的常客。本文将简要描述玻璃通孔(TGV)在先进封装的应用及发展趋势以及工艺简介。

关键词：

玻璃基板TGV

TGV

生产型 TGV/TSV/TMV

生产型 TGV/TSV/TMV

生产型 TGV/TSV 高真空磁控溅射镀膜机该设备用于玻璃基板和陶瓷基板的高密度通孔和盲孔的镀膜，深径比>10:1。例如：用于基板镀膜工序Cu/Ti微结构，Au/TiW传输导线双体系膜层淀积能力，为微系统集成密度提升提供支撑。

关键词：

玻璃基板

陶瓷基板

TGV

TSV

PVD镀膜设备

深径比>10:1

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