TGV玻璃通孔技术在磁控溅射中的应用
TGV玻璃通孔技术作为一种先进的微纳加工手段,在磁控溅射领域展现出了巨大的应用潜力。该技术通过在玻璃基板上精确制作通孔,不仅实现了三维电路的垂直互连,还极大地提升了电子器件的集成度与性能。
TGV玻璃通孔技术作为一种先进的微纳加工手段,在磁控溅射领域展现出了巨大的应用潜力。该技术通过在玻璃基板上精确制作通孔,不仅实现了三维电路的垂直互连,还极大地提升了电子器件的集成度与性能。在磁控溅射过程中,TGV玻璃通孔作为导电通道,能够引导溅射粒子精准沉积于指定区域,形成高质量、高精度的薄膜层。这一特性使得TGV玻璃通孔技术在制备高性能传感器、微电子机械系统(MEMS)以及先进光学元件等方面具有显著优势。此外,该技术还具备良好的热稳定性和化学稳定性,能够在恶劣环境下保持长期可靠运行,进一步拓宽了磁控溅射技术的应用范围。随着微电子技术的不断发展,TGV玻璃通孔技术与磁控溅射的结合将更加紧密,有望在集成电路封装、5G通信、物联网等前沿领域发挥重要作用,推动相关产业向更高层次迈进。

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随着半导体行业的飞速发展,尤其在芯片互联工艺领域,贯穿玻璃通孔(TGV)技术日益成为核心增长动力。预计在不久的将来,该技术将在全球及中国市场迎来前所未有的增长机遇。据最新市场研究数据显示,中国已经成为全球最大的TGV技术应用市场。
在现代医疗影像技术的持续演进中,磁控溅射技术已成为薄膜制备领域的核心工艺,广泛应用于医疗影像关键器件的制造过程。
鹏城半导体磁控溅射技术实现新突破,助力高端真空镀膜设备国产化
深圳,——在半导体先进封装与微纳制造领域持续深耕的鹏城半导体技术(深圳)有限公司(以下简称"鹏城半导体")近日宣布,其自主研发的高真空磁控溅射镀膜设备在TGV(玻璃通孔)镀膜工艺上取得重大技术突破,成功实现深径比大于10:1的高密度通孔镀膜,为国产真空镀膜设备在三维集成领域的发展注入新动力。
物理气相沉积(Physical Vapor Deposition, PVD)是一种在真空环境下,通过物理手段将靶材转化为气态原子、分子或离子,并使其在基体表面沉积形成薄膜的先进表面工程技术。自20世纪初发展至今,PVD技术因其环保、成本可控、耗材少、膜层致密均匀、膜基结合力强等优势,已成为现代增材制造与功能涂层领域的重要技术。
PVD可按需制备具有耐磨、耐腐蚀、导电、绝缘、压电、磁性等特性的功能薄膜,广泛应用于机械、电子、建筑、医疗等多个行业。
近日,TGV(Through Glass Via,玻璃通孔)技术在材料加工与微纳制造领域取得显著进展,引发半导体、先进封装及新兴电子器件行业的高度关注。凭借其优异的电学性能、高频特性及三维集成能力,TGV正成为下一代高密度互连关键技术之一。
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