PVD(物理气相沉积)
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大连相约,与鹏城半导体共赴2026年微纳器件与系统应用技术大会
初夏五月,盛会将至。2026年5月22日—24日,2026年微纳器件与系统应用技术大会暨第十九届中国微纳电子技术交流与学术研讨会将在滨海城市大连隆重召开。鹏城半导体技术(深圳)有限公司(以下简称“鹏城半导体”)将出席本次大会。
鹏城半导体磁控溅射技术实现新突破,助力高端真空镀膜设备国产化
深圳,——在半导体先进封装与微纳制造领域持续深耕的鹏城半导体技术(深圳)有限公司(以下简称"鹏城半导体")近日宣布,其自主研发的高真空磁控溅射镀膜设备在TGV(玻璃通孔)镀膜工艺上取得重大技术突破,成功实现深径比大于10:1的高密度通孔镀膜,为国产真空镀膜设备在三维集成领域的发展注入新动力。
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