镀膜设备
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科技赋能产业,智领仪器革新。由仪器信息网、中关村科学城管理委员会主办的第十九届中国科学仪器发展年会(ACCSI 2026)即将于2026年4月22-24日在北京隆重启幕
鹏城半导体磁控溅射技术实现新突破,助力高端真空镀膜设备国产化
深圳,——在半导体先进封装与微纳制造领域持续深耕的鹏城半导体技术(深圳)有限公司(以下简称"鹏城半导体")近日宣布,其自主研发的高真空磁控溅射镀膜设备在TGV(玻璃通孔)镀膜工艺上取得重大技术突破,成功实现深径比大于10:1的高密度通孔镀膜,为国产真空镀膜设备在三维集成领域的发展注入新动力。
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