新闻中心
logo

公司新闻

行业资讯

台风资讯|HFCVD——大尺寸金刚石薄膜沉积

发布时间：

2026-07-22

微博 微信 朋友圈 QQ QQ空间 复制链接
大尺寸金刚石薄膜是实现规模化工业应用的关键，而HFCVD热丝化学气相沉积技术，正是目前制备大尺寸金刚石薄膜最主流、最高效的工业化方案。

在半导体散热、精密制造、高端激光等领域，金刚石薄膜凭借高热导率、耐磨、耐腐蚀、电化学稳定等优异性能，成为不可或缺的功能材料。其中，大尺寸金刚石薄膜是实现规模化工业应用的关键，而HFCVD热丝化学气相沉积技术，正是目前制备大尺寸金刚石薄膜最主流、最高效的工业化方案。

为什么大尺寸金刚石薄膜是实现规模化工业应用的关键？

天然金刚石产量稀少、尺寸极小、杂质不可控，无法满足工业化批量应用。而人工制备的大尺寸金刚石薄膜，凭借全方位的性能优势，可适配工业化量产需求：

高热导率：热导率远超铜、银等金属材料，是第三代半导体功率器件、射频芯片的核心散热基材，可有效解决高集成、高热流密度设备的积热失效难题。

超强耐磨防护：具备超高硬度，针对耐高温基材或经特殊过渡层设计的零部件，可在精密机械零部件表面沉积防护薄膜，提升工件耐磨性和使用寿命，降低企业生产成本。

优异电化学特性：经掺硼改性后的金刚石薄膜，可制成BDD电极，能够高效处理高盐、高毒、难降解的工业废水，环保无二次污染。

优质光学性能：高透光、抗激光损伤、耐高温形变，可用于高功率激光窗口、红外光学器件等场景。

为什么HFCVD是大尺寸金刚石薄膜沉积的核心技术？

HFCVD（热丝化学气相沉积）是目前工业化量产的主流工艺，其核心是提供稳定、可控的薄膜生长环境，在各类衬底表面沉积/生长高质量金刚石薄膜。该类设备结构稳定、扩容性极强、膜层均匀性好，可轻松实现超大幅面金刚石薄膜整版沉积。

通俗原理如下：

1、将腔体抽至本底真空后，将经过精确控制的气体混合物，通常是碳源气体（如甲烷CH4）和过量氢气（H2）的混合物，以低压引入腔体，搭建纯净的低压反应环境；

2、腔体内部专用热丝通常升温至2000℃以上高温，裂解混合工艺气体；

3、气体裂解产生活性碳原子基团，在硅、钼等衬底表面形成金刚石晶粒；

4、原子氢选择性刻蚀生长过程中产生的石墨杂相，保障薄膜纯度，最终在衬底表面生成均匀、致密的大尺寸金刚石多晶薄膜。

鹏城半导体 HFCVD热丝化学气相沉积设备

依托哈工大（深圳）核心技术团队积淀，鹏城半导体聚焦国产化HFCVD装备迭代升级，针对性解决传统设备薄膜沉积不均、热丝寿命短、量产尺寸受限等行业痛点，为客户提供设备+工艺一站式解决方案。

HFCVD热丝化学气相沉积设备

设备支持大尺寸圆形、矩形基材沉积，可稳定制备2–8英寸金刚石薄膜，并已实现12英寸超大幅面的工艺突破，热丝不塌腰，适配半导体、光学、精密制造、环保等领域的量产尺寸需求。

电子显微镜下的金刚石晶圆片

大尺寸金刚石薄膜的规模化应用，是我国半导体配套产业国产化升级的重要标志，而HFCVD装备，正是打通产业链上游的核心。未来，鹏城半导体将持续深耕HFCVD薄膜沉积装备领域，不断优化大尺寸金刚石薄膜沉积工艺，以国产化硬核装备赋能上下游企业，助力金刚石功能材料产业高质量发展。

新闻中心

第27届CIOE中国光博会即将启幕，与鹏城半导体共赴微纳制造新程

2026年9月9-11日，第27届CIOE中国光博会重磅启幕！鹏城半导体携磁控溅射、电子束蒸发、HFCVD金刚石沉积等自研真空薄膜装备及全套工艺解决方案亮相深圳宝安会展中心，聚焦先进封装、精密光学、光电子制造，诚邀业界同仁莅临洽谈、共探产业新机遇！

鹏城半导体展会风采|第八届精密陶瓷产业链展览会

2026年8月26-28日，为期三天的第八届精密陶瓷产业链展览会在深圳国际会展中心（宝安新馆）7号馆圆满落幕。鹏城半导体技术（深圳）有限公司（以下简称“鹏城半导体”）携金刚石散热晶圆片与核心镀膜设备（PVD镀膜设备、CVD镀膜设备）亮相H20展位。

鹏城半导体邀您相聚第八届精密陶瓷产业链展览会，共赴先进封装产业技术盛会

2026年8月26-28日，第八届精密陶瓷产业链展览会将于深圳国际会展中心（宝安新馆）7号馆盛大启幕。鹏城半导体技术（深圳）有限公司（简称“鹏城半导体”）将亮相本次展会，并参与同期举办的第四届玻璃基板暨先进封装产业链高峰论坛，诚邀广大客户、行业同仁莅临交流，共探产业技术发展新机遇。

鹏城微纳荣获“创赢未来”创业大赛全国总决赛三等奖

近日，由人社部和安徽省人民政府联合主办的“创赢未来”创业大赛全国总决赛在合肥市落下帷幕。鹏城微纳技术（沈阳）有限公司（以下简称“鹏城微纳”）凭借隧道连续式高真空磁控溅射镀膜封装设备项目，荣获“科技成果+创业赛道”全国总决赛三等奖，稳步走完省级选拔赛晋级全国赛场的完整赛程。

台风资讯|HFCVD——大尺寸金刚石薄膜沉积

大尺寸金刚石薄膜是实现规模化工业应用的关键，而HFCVD热丝化学气相沉积技术，正是目前制备大尺寸金刚石薄膜最主流、最高效的工业化方案。