UHV-HiPIMS
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你知道吗?1纳米=10-9米,相当于头发丝直径的万分之一。我们每天用的手机、电脑、5G设备,其核心芯片里,藏着一个比头发丝直径万分之一还小的“纳米世界”——先进制程半导体世界。其芯片内部的绝缘层、阻挡层、导电膜,都需要在纳米级精度下“生长”——这就是高能脉冲磁控溅射(HiPIMS)镀膜技术的舞台。
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