LOGO
PRODUCTS CENTER

超高真空技术

关键词:

产品 新闻

超高真空高能脉冲磁控溅射镀膜设备(HITSemi-UHV-HIPIMS)


超高真空高能脉冲磁控溅射镀膜设备,是在超洁净环境下,采用纳米及原子级制造技术,生长高纯度高质量薄膜。应用场景之一:GaN单晶薄膜生长工艺、GaN基稀磁半导体分子结构材料制备的工艺实现。

< 1 > 前往