电子束蒸发
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高真空电子束蒸发镀膜设备 HITSemi-PVD-600EB
高真空电子束蒸发镀膜设备是在高真空条件下,采用电子束轰击材料加热蒸发的方法,在衬底上镀制各种金属、氧化物、导电薄膜、光学薄膜、半导体薄膜、铁电薄膜、超硬膜等;可镀制混合物单层膜、多层膜或掺杂膜;可镀各种高熔点材料。
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