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复合镀膜机

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生产型 高真空磁控溅射及离子辅助复合镀膜机

生产型 高真空磁控溅射及离子辅助复合镀膜机

生产型 高真空磁控溅射及离子辅助复合镀膜机（PVD-1000B系列）该设备采用磁控溅射、离子辅助、反应溅射的工艺方法，在工件表面制备各种薄膜材料。该设备是集成了工件表面处理、离子清洗、颗粒物控制、磁控溅射、离子辅助镀膜及反应溅射镀膜等工艺方法于一体的PVD设备。

关键词：

磁控溅射

离子辅助

复合镀膜机

高真空

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