产品中心
LOGO
PRODUCTS CENTER
产品中心

总程系统

关键词：

产品 新闻
总程系统

总程系统

设备整体为cluster结构，由光电转换薄膜沉积系统、MAMS 电子剥离系统、排气封装系统、吸气材料真空涂敷系统、整体除气系统组成。可实现整体自动协调操作，也可各系统独立运行，互不干扰，系统间可设置互锁。316材质制造，预留若干法兰接口。

关键词：

总程系统

薄膜沉积设备

深圳鹏城半导体

< 1 > 前往 页