生产型磁控溅射镀膜机
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生产型 高真空磁控溅射及离子辅助复合镀膜机(PVD-1000B系列)该设备采用磁控溅射、离子辅助、反应溅射的工艺方法,在工件表面制备各种薄膜材料。该设备是集成了工件表面处理、离子清洗、颗粒物控制、磁控溅射、离子辅助镀膜及反应溅射镀膜等工艺方法于一体的PVD设备。
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