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电感、电容复合三维等离子体清洗机 HITSemi-Plasma-C
电感、电容复合三维等离子体清洗机通过高频等离子电源将气体在真空下电离生成高活性等离子体。在低温环境下（接近室温），等离子体释放蓝紫色辉光（O2显蓝色、Ar呈深紫），其高能粒子与材料表面发生物理轰击及化学反应，精准实现表面清洁、活化、蚀刻等改性效果，赋予材料亲水性、疏水性或低摩擦特性。智能控制系统与气路系统确保工艺稳定，适用于复杂三维结构的高效处理。
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