鹏城半导体硬质涂层镀膜解决方案:助力高端制造性能
在高端制造的竞技场上,每一项技术的突破都如同一颗闪耀的新星,照亮行业前行的道路。鹏城半导体技术(深圳)有限公司(以下简称:鹏城半导体),作为行业内的创新先锋,凭借其卓越的硬质涂层镀膜解决方案,正为高端制造性能的提升注入强大动力,成为众多企业信赖的合作伙伴。
鹏城半导体由哈尔滨工业大学(深圳)与有多年实践经验丰富的工程师团队携手创立,公司扎根于产业、技术、市场前沿交汇处,以解决产业痛点、实现产业链自主可控为使命,在微纳技术与高端精密制造领域深耕细作,尤其在硬质涂层镀膜技术方面展现出非凡的实力。
先进的镀膜技术体系
鹏城半导体拥有一套完善且先进的硬质涂层镀膜技术体系,涵盖多种前沿工艺。其热丝化学气相沉积(HFCVD)解决方案,堪称微米晶和纳米晶金刚石晶圆片生产的利器。通过这一技术,能够制造出具有出色防腐耐磨性能的硬质涂层,在大功率器件、高频器件及大功率激光器的散热热沉应用中表现卓越。不仅如此,该技术还可用于环保领域污水处理用的耐腐蚀金刚石导电电极的生产,展现出广泛的应用前景。
热丝化学气相沉积(HFCVD)
在高真空PVD镀膜技术方面,鹏城半导体同样造诣深厚。此技术利用真空条件下的蒸发或溅射,在基体表面沉积各类薄膜,从金属、合金到化合物、半导体、陶瓷等,一应俱全。无论是单层膜、多层膜,还是掺杂膜及合金膜,都能精准镀制,甚至可用于磁性材料和非磁性材料的镀膜。尤为值得一提的是,鹏城半导体将磁控溅射薄膜沉积技术升级到薄膜外延技术,这一国内首创的突破,为第三代半导体 GaN 和第四代半导体 Ga2O3 的外延工艺方面得到了应用。
多样化的设备支持
为了确保硬质涂层镀膜解决方案的高效实施,鹏城半导体配备了一系列先进的设备。生产型 TGV/TSV/TMV 高真空磁控溅射镀膜机,在玻璃基板和陶瓷基板的高密度通孔和盲孔镀膜中优势尽显,深径比可达 10:1 。在基板镀膜工序中,对于 Cu/Ti 微结构、Au/TiW 传输导线双体系膜层淀积能力突出,为微系统集成密度的提升提供了有力支撑。该设备具备膜层均匀性及重复性高、附着力强的特点,并可依据工艺配方进行可编程自动化控制,大大提高了生产效率和产品质量。
生产型 TGV/TSV/TMV 高真空磁控溅射镀膜机
生产型 高真空磁控溅射及离子辅助复合镀膜机应用范围广泛,从铣刀、钻头到轴承、齿轮、镜片等,都能通过该设备在其表面制备出硬质耐磨涂层。它集成了工件表面处理、离子清洗、颗粒物控制、磁控溅射、离子辅助镀膜及反应溅射镀膜等多种工艺方法于一体,能够制备出单层膜、多层膜、掺杂膜、金属膜及合金膜、化合物薄膜等丰富多样的膜层,满足不同高端制造领域的复杂需求。
生产型 高真空磁控溅射及离子辅助复合镀膜机
显著的应用成效
鹏城半导体的硬质涂层镀膜解决方案在实际应用中取得了令人瞩目的成效。在半导体制造领域,其先进的镀膜技术为芯片制造提供了高质量的薄膜,均匀、稳定的膜层质量极大地提升了芯片的性能,助力半导体行业向更高制程、更低功耗的方向迈进。在先进封装方面,高真空磁控溅射镀膜机的技术突破,使得玻璃基板和陶瓷基板在 3D 封装、异构集成中的应用更加广泛,加速了芯片小型化、高性能化的发展趋势,为电子产品的轻薄化、高性能化提供了关键技术支持。
在机械制造行业,鹏城半导体的硬质耐磨涂层显著提高了刀具、轴承、齿轮、镜片等的使用寿命。以铣刀为例,经过其硬质涂层镀膜处理后,刀具的耐磨性能大幅提升,在切削过程中能够保持更长时间的锋利度,减少了换刀频率,提高了加工效率,降低了生产成本。同时,涂层良好的附着力确保了在复杂工况下涂层不易脱落,保证了加工的稳定性和产品质量。
专业的团队保障
鹏城半导体的成功离不开其专业的人才团队。公司拥有以哈工大教授和博士为核心的高水平材料研究和工艺研究团队,他们凭借深厚的学术造诣和前沿的科研理念,不断探索硬质涂层镀膜技术的新方向。此外,来自工业界的高级装备设计师团队,拥有 30 多年的半导体材料研究、外延技术研究和半导体薄膜制备成套装备设计、生产制造经验,将丰富的实践经验与先进的技术理念相结合,为公司的产品研发和解决方案制定提供了坚实的保障。
鹏城半导体技术(深圳)有限公司的硬质涂层镀膜解决方案,以其先进的技术体系、多样化的设备支持、显著的应用成效和专业的团队保障,为高端制造性能的提升带来了全方位的助力。在未来,随着技术的不断创新和应用领域的持续拓展,鹏城半导体必将在高端制造领域发挥更为重要的作用,携手更多企业,共同开启高端制造的新篇章。
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