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热丝化学气相沉积（HFCVD）金刚石涂层设备厂家《地震资讯》

发布时间：

2024-07-22

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金刚石作为超宽带隙半导体材料，具有高载流子迁移率、高热导率、高击穿电场、高载流子饱和速率和低介电常数等优异物理特性，被认为是制备下一代高功率、高频、高温及低功率损耗电子器件的“终极半导体”。

　　金刚石作为超宽带隙半导体材料，具有高载流子迁移率、高热导率、高击穿电场、高载流子饱和速率和低介电常数等优异物理特性，被认为是制备下一代高功率、高频、高温及低功率损耗电子器件的“终极半导体”。
　　我国金刚石半导体产业与先进国家相比存在：1、关键设备依赖进口，无自主知识产权，易遭到国外封锁；2、缺乏大尺寸金刚石衬底制备和薄膜外延生长工艺；3、金刚石研磨、键合、减薄技术不成熟等差距。本项目集合高校顶级科研团队和工业界优秀工程师团队，打通产业化所需的高质量金刚石薄膜生长、HFCVD热丝CVD金刚石设备定制、晶圆抛磨键合减薄等研发和生产环节，从工具级、热学级产品切入，并将持续推动光学级、电子级甚至量子级产品研发。
　　鹏城半导体技术（深圳）有限公司（简称：鹏城半导体）自主研发的HFCVD热丝化学气相沉积设备（热丝化学气相沉积（HFCVD）金刚石涂层设备）可用于微米晶、纳米晶金刚石晶圆片生产，也可制造防腐耐磨硬质涂层、金刚石BDD电极、太阳能薄膜电池等。

　　自主研发生产的单/双面镀膜热丝CVD金刚石设备（HFCVD）可制备金刚石多晶晶圆片衬底尺寸：2英寸、4英寸、6英寸、8英寸。

金刚石薄膜生产线

 

6英寸金刚石散热晶圆片

　　应用领域：第三代半导体、大功率激光器、10G通讯、微纳声学、功放器件、滤波器件等；可用于力学级别、热学级别、光学级别、声学级别的金刚石产品的研发生产。
　　公司简介：
　　鹏城半导体技术（深圳）有限公司，由哈尔滨工业大学（深圳）与有多年实践经验的工程师团队共同发起创建。公司立足于市场前沿、产业前沿和技术前沿的交叉点，寻求创新引领与可持续发展，解决产业的痛点和国产化难题，争取产业链的自主可控。
　　公司核心业务是微纳材料（含半导体材料）、微纳制造工艺、微纳装备的研发设计和生产制造。
　　科研型设备：PVD、CVD、MBE分子束外延等。
　　工业生产型设备：大型蒸镀设备、多弧离子源镀膜设备、矩形磁控溅射镀膜设备、电子束蒸发设备、OLED镀膜设备、HFCVD热丝化学气相沉积设备、真空高温CVD炉、六英寸MBE生产设备。
　　公司技术和产品可以广泛应用于：新材料、新能源、微电子光电子、半导体、声学、光学、微机电系统（MEMS）；传感器、生物医学、精准医疗、大健康、环保、微纳机器人、表面技术等领域。
　　公司核心研发团队知识结构完整，有以哈工大教授和博士为核心的高水平材料研究和工艺研究团队，还有来自工业界的高级装备设计师团队。公司团队具有20多年的微纳材料与器件研究（含半导体材料）、PVD/CVD沉积技术研究、外延技术研究、薄膜制备成套装备设计和生产制造的经验。

 

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薄膜沉积设备

薄膜沉积设备分类薄膜沉积是指在硅片等衬底上沉积待处理的薄膜材料，所沉积薄膜材料主要是二氧化硅、氮化硅、多晶硅等非金属以及铜等金属，沉积膜可为无定形、多晶的或者单晶。

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半导体制造及先进封装持续升温

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鹏城半导体携TGV/TSV/TMV技术亮相慕尼黑上海光博会

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