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鹏城半导体 HFCVD热丝化学气相沉积 设备 高性价比 生产厂家《台风快讯》

发布时间：

2024-07-09

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金刚石是一种典型的多功能极限材料，在电学、光学、热学、力学声学和电化学方面具有优异性能，在众多高新技术领域具有广阔的应用前景。

　　金刚石是一种典型的多功能极限材料，在电学、光学、热学、力学声学和电化学方面具有优异性能，在众多高新技术领域具有广阔的应用前景。
　　20世纪80年代之后，化学气相沉积（CVD）技术制备金刚石涂层促进了其广泛的应用，引发了席卷全球的“金刚石热”。90年代后，随着金刚石涂层工业化制备技术的出现，金刚石涂层产业开萌生。金刚石涂层工具、金刚石热沉、金刚石光学窗口、金刚石膜基探测器及传感器和金刚石电极等一系列高技术附加值产品开始进入市场，极大地推动了精密加工、生物医学、电化学、传感与探测和半导体等领域的产业升级。
　　21世纪初我国开始出现CVD金刚石产业，目前主要涵盖硬质合金基金刚石涂层工具和模具，工具级、热沉级和光学级金刚石自支撑膜，并呈现出良好的发展势头。并且，我国的金刚石涂层研究一直受到国家有高度关注。国家“863”计划和国家自然科学基金均持续资助过相关研究项目。在“八五”、“九五”、“十一五”期间均围绕金刚石涂层方面设立重大关键技术项目和关键材料专项，取得了重大成果。
　　鹏城半导体技术（深圳）有限公司（简称：鹏城半导体）自主研发的HFCVD热丝化学气相沉积设备可用于微米晶、纳米晶金刚石晶圆片生产，也可制造防腐耐磨硬质涂层、金刚石BDD电极、太阳能薄膜电池等。

　　自主研发生产的单/双面镀膜热丝CVD金刚石设备（HFCVD）可制备金刚石多晶晶圆片衬底尺寸：2英寸、4英寸、6英寸、8英寸。

金刚石薄膜生产线

 

6英寸金刚石散热晶圆片

　　应用领域：第三代半导体、大功率激光器、10G通讯、微纳声学、功放器件、滤波器件等；可用于力学级别、热学级别、光学级别、声学级别的金刚石产品的研发生产。
　　公司简介：
　　鹏城半导体技术（深圳）有限公司，由哈尔滨工业大学（深圳）与有多年实践经验的工程师团队共同发起创建。公司立足于市场前沿、产业前沿和技术前沿的交叉点，寻求创新引领与可持续发展，解决产业的痛点和国产化难题，争取产业链的自主可控。
　　公司核心业务是微纳材料（含半导体材料）、微纳制造工艺、微纳装备的研发设计和生产制造。
　　科研型设备：PVD、CVD、MBE分子束外延等。
　　工业生产型设备：大型蒸镀设备、多弧离子源镀膜设备、矩形磁控溅射镀膜设备、电子束蒸发设备、OLED镀膜设备、HFCVD热丝化学气相沉积设备、真空高温CVD炉、六英寸MBE生产设备。
　　公司技术和产品可以广泛应用于：新材料、新能源、微电子光电子、半导体、声学、光学、微机电系统（MEMS）；传感器、生物医学、精准医疗、大健康、环保、微纳机器人、表面技术等领域。
　　公司核心研发团队知识结构完整，有以哈工大教授和博士为核心的高水平材料研究和工艺研究团队，还有来自工业界的高级装备设计师团队。公司团队具有20多年的微纳材料与器件研究（含半导体材料）、PVD/CVD沉积技术研究、外延技术研究、薄膜制备成套装备设计和生产制造的经验。

 

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