等离子体清洗机（电容式）
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小型等离子清洗机（电容式）HITSemi-Plasma-C1
利用电场的能量来激发和维持等离子体。在平行电极板上施加高频的交流电压。强大的交变电场使反应气体中的自由电子加速，这些高能电子与气体分子发生碰撞，使其电离、分解，从而形成等离子体。
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