物理气相沉积(PVD)
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鹏城半导体技术(深圳)有限公司(简称“鹏城半导体”)将携大尺寸金刚石薄膜制备设备、氮化镓(GaN)单晶薄膜生长设备等核心设备亮相2026湾区半导体产业生态博览会
现代器件的性能,很大程度上取决于薄膜。薄膜可能只有几十到几百纳米厚,却影响着芯片导不导电、镜片透不透光、器件耐不耐高温。这层膜是怎么“铺”上去的?答案之一,便是高真空电子束蒸发镀膜。
物理气相沉积(PVD)
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鹏城半导体技术(深圳)有限公司(简称“鹏城半导体”)将携大尺寸金刚石薄膜制备设备、氮化镓(GaN)单晶薄膜生长设备等核心设备亮相2026湾区半导体产业生态博览会
现代器件的性能,很大程度上取决于薄膜。薄膜可能只有几十到几百纳米厚,却影响着芯片导不导电、镜片透不透光、器件耐不耐高温。这层膜是怎么“铺”上去的?答案之一,便是高真空电子束蒸发镀膜。