资质荣誉
2026年艾邦精密陶瓷展科创先锋奖
“创赢未来”2026创业大赛辽宁省选拔赛“科技成果+创业”赛道一等奖
一种立式双室热丝CVD系统及其使用方法
高新技术企业
一种插板阀以及立式双室热丝CVD系统
可靠性预测与评估实验室
Dynacool综合物性测试系统(PPMS)
X射线衍射(XRD)
扫描电子显微镜(SEM)
原子力显微镜(AFM)
X射线光电子能谱仪(XPS)
拉曼光谱仪
显微光致发光光谱仪
微米与纳米流体力学研究中心
航空航天微纳器件制备和检测平台
微纳光电信息系统理论与技术工业和信息化部重点实验室
微型光电器件工程实验室
一种束源炉坩埚
一种掩膜版切换机构以及真空镀膜设备
一种超高真空磁控溅射靶以及磁控溅射装置
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